కార్టర్ ఎక్స్‌కవేటర్ కోసం ఇంజిన్ ప్రెజర్ సెన్సార్ 2CP3-68 1946725

ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను సిద్ధం చేయడానికి ఒక పద్ధతి, ఈ క్రింది దశలను కలిగి ఉంటుంది:

S1, వెనుక ఉపరితలం మరియు ముందు ఉపరితలంతో పొరను అందిస్తుంది; పొర యొక్క ముందు ఉపరితలంపై పైజోరెసిస్టివ్ స్ట్రిప్ మరియు భారీగా డోప్ చేయబడిన సంపర్క ప్రాంతాన్ని ఏర్పరుస్తుంది; పొర యొక్క వెనుక ఉపరితలం చెక్కడం ద్వారా ఒత్తిడి లోతైన కుహరాన్ని ఏర్పరుస్తుంది;

S2, పొర వెనుక భాగంలో మద్దతు షీట్‌ను బంధించడం;

S3, పొర ముందు భాగంలో సీసం రంధ్రాలు మరియు మెటల్ వైర్‌లను తయారు చేయడం మరియు వీట్‌స్టోన్ వంతెనను రూపొందించడానికి పైజోరెసిస్టివ్ స్ట్రిప్స్‌ను కనెక్ట్ చేయడం;

S4, పొర యొక్క ముందు ఉపరితలంపై పాసివేషన్ పొరను డిపాజిట్ చేయడం మరియు ఏర్పరుస్తుంది మరియు మెటల్ ప్యాడ్ ప్రాంతాన్ని ఏర్పరచడానికి నిష్క్రియ పొర యొక్క భాగాన్ని తెరవడం. 2. క్లెయిమ్ 1 ప్రకారం ప్రెజర్ సెన్సార్ యొక్క తయారీ పద్ధతి, ఇందులో S1 ప్రత్యేకంగా కింది దశలను కలిగి ఉంటుంది: S11: వెనుక ఉపరితలం మరియు ముందు ఉపరితలంతో పొరను అందించడం మరియు పొరపై ప్రెజర్ సెన్సిటివ్ ఫిల్మ్ యొక్క మందాన్ని నిర్వచించడం; S12: అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ పొర యొక్క ముందు ఉపరితలంపై ఉపయోగించబడుతుంది, పైజోరెసిస్టివ్ స్ట్రిప్స్ అధిక-ఉష్ణోగ్రత వ్యాప్తి ప్రక్రియ ద్వారా తయారు చేయబడతాయి మరియు సంపర్క ప్రాంతాలు భారీగా డోప్ చేయబడతాయి; S13: పొర యొక్క ముందు ఉపరితలంపై రక్షిత పొరను డిపాజిట్ చేయడం మరియు ఏర్పాటు చేయడం; S14: ప్రెజర్ సెన్సిటివ్ ఫిల్మ్‌ను రూపొందించడానికి పొర వెనుక భాగంలో ప్రెజర్ డీప్ కేవిటీని చెక్కడం మరియు ఏర్పరుస్తుంది. 3. క్లెయిమ్ 1 ప్రకారం ప్రెజర్ సెన్సార్ యొక్క తయారీ పద్ధతి, ఇందులో పొర SOI.

1962లో, టుఫ్టే మరియు ఇతరులు. మొదటిసారిగా డిఫ్యూజ్డ్ సిలికాన్ పైజోరెసిస్టివ్ స్ట్రిప్స్ మరియు సిలికాన్ ఫిల్మ్ స్ట్రక్చర్‌తో పైజోరెసిస్టివ్ ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను తయారు చేసింది మరియు పైజోరెసిస్టివ్ ప్రెజర్ సెన్సార్‌పై పరిశోధనను ప్రారంభించింది. 1960ల చివరలో మరియు 1970ల ప్రారంభంలో, సిలికాన్ అనిసోట్రోపిక్ ఎచింగ్ టెక్నాలజీ, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ టెక్నాలజీ మరియు యానోడిక్ బాండింగ్ టెక్నాలజీ అనే మూడు సాంకేతికతలు ప్రెజర్ సెన్సార్‌లో గొప్ప మార్పులను తీసుకువచ్చాయి, ఇది ప్రెజర్ సెన్సార్ పనితీరును మెరుగుపరచడంలో ముఖ్యమైన పాత్ర పోషించింది. . 1980ల నుండి, అనిసోట్రోపిక్ ఎచింగ్, లితోగ్రఫీ, డిఫ్యూజన్ డోపింగ్, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్, బాండింగ్ మరియు కోటింగ్ వంటి మైక్రోమచినింగ్ టెక్నాలజీ మరింత అభివృద్ధి చెందడంతో, ప్రెజర్ సెన్సార్ పరిమాణం నిరంతరం తగ్గించబడింది, సున్నితత్వం మెరుగుపరచబడింది మరియు అవుట్‌పుట్ ఎక్కువగా ఉంది మరియు పనితీరు అద్భుతమైనది. అదే సమయంలో, కొత్త మైక్రోమచినింగ్ టెక్నాలజీ అభివృద్ధి మరియు అప్లికేషన్ ప్రెజర్ సెన్సార్ యొక్క ఫిల్మ్ మందాన్ని ఖచ్చితంగా నియంత్రించేలా చేస్తుంది.