Passat ఇంధన సాధారణ రైలు పీడన సెన్సార్ 06E906051Kకి వర్తిస్తుంది

1. ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను రూపొందించడానికి ఒక పద్ధతి, వీటిని కలిగి ఉంటుంది:

సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ను అందించడం, ఇందులో సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్‌పై మొదటి ఇంటర్‌లేయర్ డైఎలెక్ట్రిక్ లేయర్, మొదటి ఇంటర్‌లేయర్ డైఎలెక్ట్రిక్ లేయర్ మరియు రెండవ ఇంటర్‌లేయర్ డైఎలెక్ట్రిక్ లేయర్ ఏర్పడతాయి.

మొదటి ఇంటర్‌లేయర్ డైఎలెక్ట్రిక్ లేయర్‌లో తక్కువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్, మొదటి మ్యూచువల్ ఎలక్ట్రోడ్ దిగువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్ వలె అదే పొరపై ఉంది మరియు వేరుగా ఉంటుంది.

కనెక్ట్ పొరలు;

దిగువ ధ్రువ పలక పైన త్యాగం చేసే పొరను ఏర్పరుస్తుంది;

మొదటి ఇంటర్లేయర్ విద్యుద్వాహక పొర, మొదటి ఇంటర్‌కనెక్షన్ లేయర్ మరియు త్యాగం పొరపై ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్‌ను ఏర్పరచడం;

త్యాగం పొరను ఏర్పరచిన తర్వాత మరియు ఎగువ పలకను రూపొందించడానికి ముందు, మొదటి ఇంటర్కనెక్షన్ పొరలో

కనెక్షన్ గాడిని ఏర్పరుస్తుంది మరియు మొదటి ఇంటర్‌కనెక్షన్ లేయర్‌తో విద్యుత్తుగా కనెక్ట్ చేయడానికి ఎగువ ప్లేట్‌తో కనెక్షన్ గాడిని నింపడం; లేదా,

ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్‌ను ఏర్పరచిన తర్వాత, ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్ మరియు మొదటి ఇంటర్‌కనెక్షన్ లేయర్‌లో కనెక్ట్ చేసే పొడవైన కమ్మీలు ఏర్పడతాయి.

ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్ మరియు కనెక్షన్ గాడిలో మొదటి ఇంటర్కనెక్షన్ పొరను కలుపుతూ ఒక వాహక పొరను ఏర్పరుస్తుంది;

ఎగువ ప్లేట్ మరియు మొదటి ఇంటర్‌కనెక్షన్ లేయర్‌ను విద్యుత్తుగా కనెక్ట్ చేసిన తర్వాత, ఒక కుహరాన్ని ఏర్పరచడానికి త్యాగం చేసే పొరను తొలగించండి.

2. క్లెయిమ్ 1 ప్రకారం ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను రూపొందించే పద్ధతి, ఇందులో మొదటి పొర

ఇంటర్లేయర్ విద్యుద్వాహక పొరపై త్యాగం చేసే పొరను రూపొందించే పద్ధతి క్రింది దశలను కలిగి ఉంటుంది:

మొదటి ఇంటర్లేయర్ విద్యుద్వాహక పొరపై త్యాగం చేసే పదార్థ పొరను నిక్షిప్తం చేయడం;

త్యాగం చేసే పదార్థ పొరను ఒక త్యాగం చేసే పొరను ఏర్పరుస్తుంది.

3. క్లెయిమ్ 2 ప్రకారం ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను రూపొందించే పద్ధతి, ఇందులో ఫోటోలిథోగ్రఫీ మరియు చెక్కడం ఉపయోగించబడతాయి.

త్యాగం చేసే పదార్థం పొర చెక్కడం ప్రక్రియ ద్వారా నమూనా చేయబడింది.

4. క్లెయిమ్ 3 ప్రకారం ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను రూపొందించే పద్ధతి, ఇందులో త్యాగం చేసే పొర

పదార్థం నిరాకార కార్బన్ లేదా జెర్మేనియం.

5. క్లెయిమ్ 4 ప్రకారం ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను రూపొందించే పద్ధతి, ఇందులో త్యాగం చేసే పొర

పదార్థం నిరాకార కార్బన్;

త్యాగం చేసే పదార్థ పొరను చెక్కే ప్రక్రియలో ఉపయోగించే ఎచింగ్ వాయువులు O2, CO, N2 మరియు Ar;

త్యాగం చేసే పదార్థ పొరను చెక్కే ప్రక్రియలో పారామితులు: O2 యొక్క ప్రవాహ పరిధి 18 SCCM ~ 22 SCCM, మరియు CO ప్రవాహం రేటు 10%.

ప్రవాహం రేటు 90 SCCM నుండి 110 SCCM వరకు ఉంటుంది, N2 యొక్క ప్రవాహం రేటు 90 SCCM నుండి 110 SCCM వరకు ఉంటుంది మరియు Ar యొక్క ప్రవాహం రేటు.

పరిధి 90 SCCM ~ 110 SCCM, ఒత్తిడి పరిధి 90 mtor ~ 110 mtor, మరియు బయాస్ పవర్

540వా-660వా.