పాసాట్ ఇంధనానికి వర్తిస్తుంది కామన్ రైల్ ప్రెజర్ సెన్సార్ 06E906051K

1. ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను రూపొందించడానికి ఒక పద్ధతి, వీటిని కలిగి ఉంటుంది:

సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్‌ను అందించడం, దీనిలో మొదటి ఇంటర్‌లేయర్ విద్యుద్వాహక పొర, మొదటి ఇంటర్‌లేయర్ విద్యుద్వాహక పొర మరియు రెండవ ఇంటర్లేయర్ విద్యుద్వాహక పొర సెమీకండక్టర్ సబ్‌స్ట్రేట్‌పై ఏర్పడతాయి.

మొదటి ఇంటర్లేయర్ విద్యుద్వాహక పొరలో తక్కువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్, దిగువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్ వలె అదే పొరపై ఉన్న మొదటి పరస్పర ఎలక్ట్రోడ్ మరియు వేరుగా ఉంటుంది.

పొరలను కనెక్ట్ చేయడం;

దిగువ ధ్రువ పలక పైన ఒక బలి పొరను ఏర్పరుస్తుంది;

మొదటి ఇంటర్లేయర్ విద్యుద్వాహక పొర, మొదటి ఇంటర్‌కనెక్షన్ పొర మరియు త్యాగ పొరపై ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్‌ను ఏర్పరుస్తుంది;

బలి పొరను ఏర్పరుచుకున్న తరువాత మరియు ఎగువ ప్లేట్ ఏర్పడే ముందు, మొదటి ఇంటర్‌కనెక్షన్ పొరలో

కనెక్షన్ గాడిని ఏర్పరుస్తుంది మరియు మొదటి ఇంటర్ కనెక్షన్ పొరతో విద్యుత్తుతో కనెక్ట్ అవ్వడానికి కనెక్షన్ గాడిని ఎగువ ప్లేట్‌తో నింపడం; లేదా,

ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్ ఏర్పడిన తరువాత, కనెక్ట్ చేసే పొడవైన కమ్మీలు ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్ మరియు మొదటి ఇంటర్ కనెక్షన్ పొరలో ఏర్పడతాయి, ఇది ఇది

కనెక్షన్ గాడిలోని ఎగువ ఎలక్ట్రోడ్ ప్లేట్ మరియు మొదటి ఇంటర్‌కనెక్షన్ పొరను అనుసంధానించే వాహక పొరను ఏర్పరుస్తుంది;

ఎగువ ప్లేట్ మరియు మొదటి ఇంటర్‌కనెక్షన్ పొరను విద్యుత్తుగా అనుసంధానించిన తరువాత, బలి పొరను తీసివేసి, కుహరం ఏర్పడటానికి.

2. క్లెయిమ్ 1 ప్రకారం ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను రూపొందించే పద్ధతి, దీనిలో మొదటి పొరలో

ఇంటర్లేయర్ విద్యుద్వాహక పొరపై బలి పొరను రూపొందించే పద్ధతి ఈ క్రింది దశలను కలిగి ఉంటుంది:

మొదటి ఇంటర్లేయర్ విద్యుద్వాహక పొరపై బలి పదార్థ పొరను జమ చేయడం;

త్యాగ పొరను రూపొందించడానికి బలి పదార్థ పొరను నమూనా చేయడం.

3. క్లెయిమ్ 2 ప్రకారం ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను రూపొందించే పద్ధతి, ఇందులో ఫోటోలితోగ్రఫీ మరియు చెక్కడం ఉపయోగించబడతాయి.

త్యాగ పదార్థ పొరను ఎచింగ్ ప్రక్రియ ద్వారా నమూనా చేస్తుంది.

4. క్లెయిమ్ 3 ప్రకారం ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను రూపొందించే పద్ధతి, ఇందులో బలి పొర

పదార్థం నిరాకార కార్బన్ లేదా జెర్మేనియం.

5. క్లెయిమ్ 4 ప్రకారం ప్రెజర్ సెన్సార్‌ను రూపొందించే పద్ధతి, ఇందులో బలి పొర

పదార్థం నిరాకార కార్బన్;

త్యాగ పదార్థ పొరను చెక్కే ప్రక్రియలో ఉపయోగించే వాయువులలో O2, CO, N2 మరియు AR ఉన్నాయి;

త్యాగ పదార్థ పొరను చెక్కే ప్రక్రియలో పారామితులు: O2 యొక్క ప్రవాహ పరిధి 18 SCCM ~ 22 SCCM, మరియు CO యొక్క ప్రవాహం రేటు 10%.

ప్రవాహం రేటు 90 SCCM నుండి 110 SCCM వరకు ఉంటుంది, N2 యొక్క ప్రవాహం రేటు 90 SCCM నుండి 110 SCCM వరకు ఉంటుంది మరియు AR యొక్క ప్రవాహం రేటు.

పరిధి 90 SCCM ~ 110 SCCM, పీడన పరిధి 90 mTOR ~ 110 mTOR, మరియు బయాస్ పవర్

540W ～ 660W。